北京
金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种采用离子束沉积制备IGZO改性薄膜的方法”的专利，公开号CN120210725A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明提供了离子束沉积制备物理改性的IGZO薄膜中的应用。本发明还提供了采用离子束沉积制备改性IGZO薄膜的方法。本发明制备的IGZO薄膜不会受到等离子体的损伤、不存在有机物残留，制备的薄膜可以避免后退火步骤，获得更优异的电学性能，制备的IGZO薄膜纯度更高，粗糙度更低，并且钝化层中的氮氧含量可以精准调控，最终获得性能优异的IGZO薄膜。本发明所有工艺在一个离子束沉积腔室中就可以全部完成，不需要破真空也减少了传输，大大的缩短了薄膜制备时间也降低了水氧等对IGZO薄膜的污染。本发明还能通过改变离子源的入射角度、离子源反应气体的比例以及离子原子到达比，对薄膜直接进行改性，无需后续的改性退火步骤。
天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目232次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息430条，此外企业还拥有行政许可14个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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