金融界2025年6月28日消息,国家知识产权局信息显示,青岛思锐智能科技股份有限公司申请一项名为“一种晶圆驱动机构及晶圆姿态检测方法”的专利,公开号CN120221479A,申请日期为2025年03月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体制造技术领域,公开了一种晶圆驱动机构及晶圆姿态检测方法。晶圆驱动机构包括:驱动组件,驱动组件用于驱动晶圆运动,使晶圆的姿态发生变化;检测组件,检测组件用于检测晶圆的姿态变化是否正确,检测组件包括参照件、检测件和数据处理单元,参照件和检测件两者之一与驱动组件连接,并与晶圆同步运动,参照件和检测件两者另一个位置固定,数据处理单元接收检测件的检测数据,并根据检测数据计算获得参照件和检测件相对运动数据,并根据相对运动数据判断晶圆的姿态变化是否正确。
天眼查资料显示,青岛思锐智能科技股份有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本112128.6051万人民币。通过天眼查大数据分析,青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目68次,财产线索方面有商标信息24条,专利信息108条,此外企业还拥有行政许可24个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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