北京
金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“一种晶圆洗边装置及晶圆洗边的方法”的专利，公开号CN120199708A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本发明提供了一种晶圆洗边装置及晶圆洗边的方法，晶圆洗边装置包括承载台，用于承载晶圆，并可带动晶圆旋转；机械手臂靠近承载台设置，机械手臂上设有第一喷嘴和第二喷嘴，第一喷嘴用于朝晶圆的边缘喷涂清洗溶剂，第二喷嘴用于朝晶圆的边缘喷射惰性气体；控制器与第一喷嘴、第二喷嘴和机械手臂均电连接；工作状态，控制器控制机械手臂运动，以使第一喷嘴和第二喷嘴朝向晶圆的边缘喷涂清洗溶剂和喷射惰性气体，当晶圆的缺口旋转至靠近第一喷嘴和第二喷嘴时，控制器控制第一喷嘴的流量减小，以及控制第二喷嘴的气压增大。
天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目171次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息711条，此外企业还拥有行政许可55个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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