北京
金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，上海凯世通半导体股份有限公司、上海临港凯世通半导体有限公司、北京凯世通半导体有限公司申请一项名为“一种束流角度及形态采集装置和方法”的专利，公开号CN120199670A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种束流角度及形态采集装置和方法，可用于半导体加工技术领域中的离子注入机。本发明的束流角度及形态采集装置，包括法拉第杯阵列，该法拉第杯阵列包括一个或多个法拉第杯组，该一个或多个法拉第杯组中的至少一个法拉第杯组包括多个具有开口角度的法拉第杯，且该至少一个法拉第杯组具有三种以上不同的法拉第杯开口角度。本发明的采集束流角度和形态数据的方法通过利用前述装置，能够在一次机构运动同时获取束流角度和形态数据，大大简化了运动结构。
天眼查资料显示，上海凯世通半导体股份有限公司，成立于2009年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本9991.1988万人民币。通过天眼查大数据分析，上海凯世通半导体股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目66次，财产线索方面有商标信息25条，专利信息194条，此外企业还拥有行政许可22个。
上海临港凯世通半导体有限公司，成立于2015年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本8000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海临港凯世通半导体有限公司参与招投标项目5次，专利信息32条，此外企业还拥有行政许可10个。
北京凯世通半导体有限公司，成立于2020年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1600万人民币。通过天眼查大数据分析，北京凯世通半导体有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1次，专利信息67条，此外企业还拥有行政许可3个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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