是每立方米空气中≥0.5μm的粒子数不超过352万颗,换气次数15-25次/小时,并需控制微生物(浮游菌≤500 CFU/m³、沉降菌≤10 CFU/皿)、温湿度(温度18-26℃、湿度45%-65%)及压差梯度(≥5Pa)。
洁净度核心标准
1.悬浮粒子限值:依据国家标准GB 50073和GB 50591,10万级车间要求≥0.5μm的粒子≤352,000颗/m³,对应ISO 8级标准。
2.微生物控制:
浮游菌≤500 CFU/m³(GB 16293)。
沉降菌≤10 CFU/皿(GB 16294)。
3.换气次数:每小时15-25次,确保空气持续过滤。
环境与设施要求
1.温湿度:温度18-26℃,湿度45%-65%,防止微生物滋生和静电。
2.压差控制:洁净区需保持正压(≥5Pa),防止外部污染进入。
3.结构与材料:
地面采用环氧自流坪或防静电耐磨塑料地板。
墙面使用抗菌防霉涂料(湿度>80%时)。
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