北京
金融界2025年6月21日消息，国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种静电卡盘和等离子刻蚀系统”的专利，公开号CN120184077A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种静电卡盘和等离子刻蚀系统，静电卡盘包括：绝缘加热层，用于对待加工件进行加热；基座，与所述绝缘加热层连接，并且所述绝缘加热层与所述基座之间具有密封的移动空间；冷却组件，所述冷却组件和/或所述绝缘加热层能够在所述移动空间内移动，调节所述冷却组件和所述绝缘加热层之间的距离。通过冷却组件和绝缘加热层的相对移动，在绝缘加热层对待加工件加热过程中，冷却组件与绝缘加热层之间距离增大，以减少冷却组件与绝缘加热层的热交换，使得绝缘加热层能够实现快速加热，并达到刻蚀工艺要求的温度。在绝缘加热层进行降温过程中，冷却组件与绝缘加热层之间距离减小，并与绝缘加热层发生热交换，实现绝缘加热层的快速降温。
天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目232次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息450条，此外企业还拥有行政许可14个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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