北京
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金融界2025年6月16日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“具有增压和脉冲能力的处理腔室”的专利，公开号CN120153468A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，描述了包括至少一个贮气器的处理腔室，该至少一个贮气器通过快速开关阀和贮气器管线连接到盖并与该盖流体连通。还描述了使用处理腔室的处理方法，例如蚀刻方法。
本文源自金融界
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