北京
金融界2025年6月10日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司申请一项名为“设备前端模块、半导体器件的加工设备及晶圆定向方法”的专利，公开号CN120127040A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明提供了设备前端模块、半导体器件的加工设备及晶圆定向方法。该设备前端模块包括外部接口、预定向单元、校准器及大气机械手。该预定向单元用于扫描晶圆的轮廓形状，以确定其缺口的偏离角度。该大气机械手至少包括第一节臂和第一旋转轴，并被配置为：经由第一节臂末端的指部，从外部接口获取待加工的晶圆；响应于偏离角度小于或等于预设的角度阈值，先经由第一旋转轴旋转第一节臂，以微校准偏离角度，再将经过微校准的晶圆传输到后端的负载锁存模块；以及响应于偏离角度大于角度阈值，先将晶圆传输到校准器来宏校准偏离角度，再从校准器取出经过宏校准的晶圆，以将其传输到负载锁存模块。
天眼查资料显示，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司，成立于2023年，位于沈阳市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司参与招投标项目12次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息303条，此外企业还拥有行政许可10个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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