北京
金融界2025年6月10日消息，国家知识产权局信息显示，宸微设备科技（苏州）有限公司申请一项名为“刻蚀设备及其清洁方法”的专利，公开号CN120126994A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本公开实施例提供了一种刻蚀设备及其清洁方法，其中，刻蚀设备包括：反应腔体、介质窗以及屏蔽罩，介质窗位于反应腔体顶部，介质窗朝向反应腔体内部的表面上具有清洁层，其中，清洁层受到催化光的催化能够产生羟基自由基和/或超氧自由基；屏蔽罩位于介质窗上方，屏蔽罩内设置有电感线圈。采用上述技术方案，清洁层位于介质窗朝向反应腔体内部的表面上，刻蚀过程中反应产生沉积物会沉积在清洁层朝向反应腔体内部的表面上，通过朝清洁层发出催化光，清洁层受到催化光催化能够产生强氧化性的自由基，强氧化性的自由基用于分解其表面的沉积物，降低清洁层上沉积物的量，从而降低沉积物对介质窗性能的影响，提升刻蚀设备的刻蚀质量。
天眼查资料显示，宸微设备科技（苏州）有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，宸微设备科技（苏州）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息53条，此外企业还拥有行政许可3个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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