北京
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金融界2025年6月6日消息，国家知识产权局信息显示，美科米尚技术有限公司申请一项名为“制造具有阳极氧化部分的结构的方法”的专利，公开号CN120111917A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，一种制造具有阳极氧化部分的结构的方法包含：形成带有介电层的底部金属图案于基材上，其中介电层具有开口暴露出底部金属图案；形成半导体层以覆盖介电层；形成第一金属层于半导体层上；形成第二金属层于第一金属层上；形成屏蔽层于第二金属层上以暴露出第二金属层的顶面的部位；通过屏蔽层蚀刻第二金属层，直至第一金属层的顶面被暴露出，其中第二金属层与第一金属层的蚀刻选择比高于2.0；通过屏蔽层阳极氧化第一金属层以形成阳极氧化段；以及移除屏蔽层。由于仅采用两组PEP工艺，因此可显著降低制造成本，并有效提高制造效率。
本文源自：金融界
作者：情报员
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