金融界2025年6月4日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市奈尔森科技有限公司申请一项名为“一种晶圆缺陷检测数据处理方法及系统”的专利,公开号CN120088247A,申请日期为2025年04月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体制造检测技术领域,公开了一种晶圆缺陷检测数据处理方法及系统,其中,一种晶圆缺陷检测数据处理方法包括:基于晶圆表面特性构建结构化随机测量矩阵,采集压缩测量数据;利用谱聚类算法识别不同缺陷类型对应的局部流形结构;构建多尺度图拉普拉斯算子,提取缺陷几何特性;根据缺陷类型执行差异化重建处理,求解包含范范数和图拉拉斯正则化项的优化目标;基于重建评估评估,动态调整采样策略;本发明实现了在低采样率下的高精度重建重建,提高了数据处理效率,提升了缺陷重建重建质量,适应多样性缺陷处理,降低了存储和负担负担,优化了计算资源分配。
天眼查资料显示,深圳市奈尔森科技有限公司,成立于2016年,位于深圳市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本235.3万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市奈尔森科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息28条,此外企业还拥有行政许可7个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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