金融界2025年5月21日消息,国家知识产权局信息显示,江苏大衍光子科技有限公司申请一项名为“一种MEMS微振镜的光变图像点阵光刻机构及方法”的专利,公开号CN120010191A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种MEMS微振镜的光变图像点阵光刻机构及方法,包括MESE微振镜、信号处理加载器、上位机电脑、激光器、小孔光阑、投影物镜与光刻胶板二维载台,所述上位机电脑与信号处理加载器连接,所述上位机电脑与激光器之间连接有电子夹门,所述上位机电脑与MESE微振镜之间连接有信号处理加载器,所述MESE微振镜位于小孔光阑的上方。本发明所述的一种MEMS微振镜的光变图像点阵光刻机构及方法,采用405蓝紫光激光器,配合MEMS微振镜,按图像编码,产生0‑180°的线栅图像,缩微投影光刻,经显影刻蚀形成光变图像结构。
天眼查资料显示,江苏大衍光子科技有限公司,成立于2023年,位于南通市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏大衍光子科技有限公司专利信息6条,此外企业还拥有行政许可3个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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