金融界2025年5月17日消息,国家知识产权局信息显示,宁波润华全芯微电子设备有限公司申请一项名为“一种可缩短晶圆传输时间的匀胶设备”的专利,公开号CN119987139A,申请日期为2025年2月。
专利摘要显示,本发明申请涉及一种可缩短晶圆传输时间的匀胶设备,属于半导体制造设备技术领域,可缩短晶圆传输时间的匀胶设备包括:机架、盒站单元、盒站机器人、工艺处理单元、匀胶单元、工艺机器人,盒站单元、盒站机器人、多个工艺处理单元、匀胶单元依次排列设置,工艺处理单元包括冷盘单元、热盘单元和对中单元,冷盘单元、热盘单元之间形成中间区域,盒站机器人和工艺机器人至少部分设置在中间区域前后,盒站机器人和工艺机器人仅旋转和升降以对晶圆的传输。本发明申请能够充分发挥盒站机器人、工艺机器人的工作效能,加速整个晶圆匀胶工艺的生产流程,提升晶圆匀胶设备的工作效率。
天眼查资料显示,宁波润华全芯微电子设备有限公司,成立于2016年,位于宁波市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本3584.0571万人民币。通过天眼查大数据分析,宁波润华全芯微电子设备有限公司参与招投标项目136次,财产线索方面有商标信息10条,专利信息165条,此外企业还拥有行政许可20个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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