北京
金融界2025年5月16日消息，国家知识产权局信息显示，宁波润华全芯微电子设备有限公司申请一项名为“一种晶圆加工设备”的专利，公开号CN119987140A，申请日期为2025年2月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体制造领域，提供一种晶圆加工装置，包括电气组件、烘箱单元、光刻胶单元、盒站单元、离心单元、工艺机器人；离心单元的每个腔体内包括两个匀胶单元和两个匀胶单元共用的一个注胶机械手臂，注胶机械手臂固定设置在滑轨组件上，采用液压驱动的方式，在两个匀胶单元来回移动，共用注胶机械手臂放置于两个离心单元腔体的中间位置，减少了注胶机械手臂移动到晶圆上方的时间，提高了产能，减少了注胶机械手臂相关配件数量，提高了机台空间利用率，并降低了设备的制造成本；一个注胶机械手臂起到两个注胶机械手臂的作用，且避免产生离心单元的共振，提升了离心单元的涂胶均匀性。
天眼查资料显示，宁波润华全芯微电子设备有限公司，成立于2016年，位于宁波市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本3584.0571万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波润华全芯微电子设备有限公司参与招投标项目136次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息165条，此外企业还拥有行政许可20个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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