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金融界2025年5月12日消息，国家知识产权局信息显示，塞米拉布半导体物理实验室有限公司申请一项名为“安全性提高的水银探针装置”的专利，公开号CN119959585A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于测量半导体晶片的电性能的水银探针装置，其包括：晶片保持件；用于使晶片顶面与汞柱接触的水银探针，水银探针包括容纳汞柱的毛细管；用于在毛细管内的汞柱上方施加部分真空或压力的气动控制装置；水银探针固定于其上的探针臂；用于控制毛细管相对于晶片上表面位置的定位装置；用于使电流流过晶片并测量晶片电性能的测量装置；与汞柱和测量装置电连接的第一电触点；与晶片保持件和测量装置电连接的第二电触点；清洁水银容器；与气动控制装置、定位装置和测量装置操作性连接的控制单元，其中水银探针具有至少一个测量位置和第一水银更换位置，其中毛细管在测量位置与清洁水银容器分离，而在第一水银更换位置与清洁水银容器流体连通。
本文源自：金融界
作者：情报员
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