北京
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金融界2025年5月12日消息，国家知识产权局信息显示，呈睿国际股份有限公司取得一项名为“晶舟清洁设备”的专利，授权公告号CN222842719U，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本实用新型公开一种晶舟清洁设备，包含一可供容置一晶舟的清洁腔体、一与该清洁腔体连通的远端电浆产生器及负压抽取器；于该远端电浆产生器及负压抽取器启动时，该远端电浆产生器所产生清洁用的电浆抽入该清洁腔体内，干式移除该晶舟的表面于另一半导体制程设备的炉管内所沉积的薄膜，清洁工时有效缩短至数小时内，另可免除载运的时间及成本，减少酸洗工安意外。
本文源自：金融界
作者：情报员
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