广东
在中华全国总工会成立100周年与“五一”国际劳动节交汇的时刻，深圳再添荣耀，涌现出11名全国劳动模范、5名全国先进工作者、33名广东省劳动模范、2名广东省先进工作者、10个广东省先进集体。
今天
让我们目光聚焦于这些新时代的奋斗标杆
他们或以工匠精神铸就“深圳精度”
或用奉献热忱传递“特区温度”
在他们身上
我们看到了“劳动创造幸福”的鲜活实践
更触摸到了这座城市强劲跳动的创新脉搏
技术不满足于追赶
更志在超越
广东省劳动模范黄有为
在半导体产业的精密赛道上，纳米级的较量如火如荼。当纳米级无图形晶圆光学检测技术这一关乎芯片良率的“命门”技术被外国厂商筑起技术壁垒时，中国深圳有一群“知识型工匠”，用十年完成了一场技术攻坚：从不得不接受外国昂贵设备，到让国产检测装备跻身全球市场份额第二；从望尘莫及的6代技术差距，到7纳米工艺的并驾齐驱。
深圳中科飞测科技股份有限公司研发总监、首席科学家黄有为带领公司无图形晶圆缺陷检测SPRUCE系列设备研发团队，用实验室里经久不息的灯光，丈量出从跟跑到领跑的创新“加速度”——这里记录的不仅是纳米尺度上的技术破壁，更是一代科研人将论文写在生产线上的报国答卷。
从0到1的破壁时刻
晶圆是半导体制造的核心基础材料，一块晶圆上承载着成千上万的芯片。黄有为解释道：“纳米级无图形晶圆光学检测设备如同芯片的‘眼睛’和‘尺子’，能够检测出比头发丝细万倍以上的缺陷，保障芯片良率。”
“但这项技术长期被国外厂商垄断，国内更是一片空白。国外设备不仅价格昂贵，还时常‘卡脖子’。”黄有为回忆道。早在中国科学院微电子研究所时，他就立志要改变这一现状。2016年，他来到深圳，加入中科飞测。彼时SPRUCE团队只有不到10个人，却面对着国外30年的技术积累。他们把实验室当成家，24小时连轴转，仅用8个月就研发出国内首台具有自主知识产权的检测设备。经过一年时间，设备成功通过世界领先的集成电路晶圆代工企业之一中芯国际的生产线验证，实现了从0到1的关键突破。“当时，团队里有人抱在一起痛哭，有人兴奋地挥舞着拳头。”黄有为激动地表示。
从1到N的代际飞跃
2018年，在研发第二代设备时，团队面临重大抉择：是按部就班推进，还是冒险跨代追赶，实现弯道超车？面对技术不成熟、供应链不完善、资金压力巨大等困难，团队没有退缩，而是迎难而上。没有现成的零部件就自己设计，工艺不达标就连夜改造生产线。有时，为了调试一个参数，大家连续加班，头发大把大把地掉。最终仅用了不到3年时间，就实现了从90纳米向14纳米工艺节点的跨越式发展。
“回望这一路走来，团队不仅打破了国外技术封锁，填补了国内空白，更是用10年时间追赶上国外约30年的研发历程。真的很不容易。”黄有为说。国产无图形晶圆光学检测设备已覆盖国内超100家客户，市场份额跃居全球第二。
团队目前已经发展至百余人，获得了来自各方的认可：2024年获得深圳市工人先锋号荣誉称号，研发成果获得深圳市技术发明奖一等奖，并助力中科飞测成为广东省制造业单项冠军企业。“这让我和团队成员倍感兴奋与鼓舞。”黄有为说。
“目前，我们已突破7纳米工艺节点无图形晶圆光学检测设备研发。”黄有为语气中满是自豪，“在研发领域，我们已经不满足于追赶，更志在超越。这就是中国速度，也是深圳速度。作为一线科研工作者，将实验室里的突破转化为服务国家的实绩时，知识型工匠的价值便有了最生动的注脚。”
内容来源：深圳特区报
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