山东
近日，山东劳动职业技术学院传来喜讯，该校匀速先锋创新团队马益轩、张欣铭等人成功研制出560SY型全自动匀胶设备。
据了解，该设备在谢立秋、任勇、孙大铭等专业教师的指导下，历经5年多的时间，查阅大量文献资料，深入研究匀胶机的工作原理和技术瓶颈，经过反复测试和优化，独创“双手双腔四仓四加热”联动解决方案，提高了生产效率，实现了对涂覆过程的精确控制，突破了光刻领域“卡脖子”技术瓶颈，为相关科研领域带来新的发展动力，成为国产匀胶机自动旋涂破冰者。
图1 国产自动旋涂匀胶破冰者-560SY型匀胶机
图2 560SY型匀胶机三维图
图3 团队正在用仪器检测匀胶效果
图4 团队负责人马益轩加工匀胶喷头
图5 团队负责人马益轩正在进行设备调试
匀胶机是科研和工业生产中用于在基片上均匀涂覆薄膜的关键设备，广泛应用于半导体、光学等领域。针对传统匀胶设备膜厚均匀性不足、热烘稳定性差、调试周期长等行业痛点，设备首创纳米匀胶喷头结构，通过试验优化旋转速度、光刻胶温度、滴胶量等参数，确保滴胶精度可控可调，膜厚均匀性比改进前提高了29%；首次搭建了动态温度传感系统，降低了温度误差，热烘效率提高了19.4%；创新双机械手多工位协同运作，优化遗传算法，实现全流程最优节拍，工作效率提高了23%。2025年3月17日，经一级科技查新咨询单位科学技术部西南信息中心查新中心查新，报告表明：国内外未见其他相同文献报道，本项目具有新颖性。设备申报了5个国家专利，6个软著，签订了81.38万元采购合同。团队通过原创性技术突破，解决了匀胶机行业痛点，为半导体光刻行业提供了高精度、高效率的国产化装备。
在项目研发过程中，同学们将理论知识与实际应用相结合，从实验室到中试，团队成员经常一连数月开启“24小时运转”模式，对温度、旋转速度、工艺时间等成百上千个参数一遍遍验证、分析、微调……直至找到最优解。就是在这样的条件下，团队一步步突破封锁、打破垄断，终于攻克了长期“卡脖子”困局，研发出560SY型全自动匀胶设备，解决了匀胶不均匀、效率低等诸多技术难题，促进芯片制造自主可控。项目锻炼了学生的实践能力，培养出了以程焕瑞为代表的山东省技术能手。团队负责人马益轩分享道：“参与这个项目让我对专业知识有了更深入的理解，也体会到了科研创新的乐趣与挑战。作为新时代的青年，能在干事创业的平台上，发挥青春智慧、创造青春价值，是我们团队的光荣使命！”
山东劳动职业技术学院近年来一直重视学生创新创业能力的培养，鼓励师生参与科研项目，为项目提供场地、设备和资金支持，推动产教融合与科技成果转化。此次匀胶机升级改造的成功，是学校创新创业教育的又一成果，也为光刻领域的技术发展注入了“中国芯”。未来，该团队计划进一步聚焦匀胶机的前言技术，加强品牌宣传和推广，为国家创造更多的社会价值。
（来源：山东劳动职业技术学院）
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