北京
金融界2025年5月6日消息，国家知识产权局信息显示，广东先导微电子科技有限公司取得一项名为“一种衬底片冲洗装置”的专利，授权公告号CN222817452U，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本申请涉及半导体衬底材料制造技术领域，具体公开了一种衬底片冲洗装置，包括：装置主体与冲水支架；所述装置主体上设置有多个安装架与多个冲水孔；所述安装架用于安装衬底片；多个所述冲水孔一一对应朝向多个所述安装架；所述冲水支架设置于所述装置主体的旁侧；所述冲水支架上设置有多个喷头；多个喷头一一对应朝向多个所述安装架。本方案中，冲水孔位于安装架的内侧；喷头位于安装架的外侧；因此通过喷头和冲水孔能够同时对安装架上的衬底片的正反面进行冲洗，从而无需进行翻转衬底片的工序，能够有效提升对衬底片的清洗效率，解决现有的衬底片清洗装置的清洗效率较低的问题。
天眼查资料显示，广东先导微电子科技有限公司，成立于2020年，位于清远市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本54384万人民币。通过天眼查大数据分析，广东先导微电子科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目38次，财产线索方面有商标信息18条，专利信息495条，此外企业还拥有行政许可182个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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