北京
金融界2025年5月6日消息，国家知识产权局信息显示，安徽奥飞声学科技有限公司申请一项名为“MEMS双晶片结构及其制备方法、MEMS压电麦克风”的专利，公开号 CN119922482A，申请日期为 2025 年 1 月。
专利摘要显示，本发明涉及新型电声元件制造和微电子器件等技术领域，尤其涉及一种 MEMS 双晶片结构及其制备方法，MEMS 压电麦克风。该 MEMS 双晶片结构包括：支撑结构，包括：外环体；形成于外环体内侧的背腔；复合振动层，自下而上包括：下压电层，形成于外环体和背腔的上方；中间层，形成于下压电层上，包括：内侧的中电极层，外围的第二介质层，其中，中间电极和第二介质层的上、下表面平齐；上压电层，形成于中间层的上方；下电极层，形成于下压电层的下方；上电极层，形成于上压电层的上方。本发明通过在中电极层外围沉积第二介质层，从而消除了台阶面，并且经过 CMP 工艺，中间层平面质量大大提升，在该平坦表面上生长的压电层薄膜质量更佳。
天眼查资料显示，安徽奥飞声学科技有限公司，成立于2017年，位于合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本858.6648万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽奥飞声学科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息20条，专利信息142条，此外企业还拥有行政许可5个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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