北京
金融界2025年5月3日消息，国家知识产权局信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司取得一项名为“晶圆搬运手指”的专利，授权公告号CN222801769U，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种晶圆搬运手指，包括：手指本体和设于所述手指本体底面的伯努利吸盘，所述手指本体和所述伯努利吸盘之间形成有吸盘气室，所述伯努利吸盘上间隔地设有与所述吸盘气室连通的若干个喷气孔，若干个所述喷气孔的连线呈圆形状，所述吸盘气室与供气装置连接，所述供气装置用于向所述吸盘气室内通气，以使气体从所述喷气孔喷出。利用所述供气装置向所述吸盘气室内通气，从所述喷气孔喷出的高速流动的气体，产生伯努利效应，以使晶圆可以悬浮地吸附于所述伯努利吸盘下方，非接触式吸附避免破坏晶圆微结构，也不会造成晶圆的变形和碎片，避免污染晶圆。
天眼查资料显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司，成立于2002年，位于沈阳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本20096.6966万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目297次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息598条，此外企业还拥有行政许可63个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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