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金融界 2025 年 5 月 2 日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“用于衬底处理系统的等离子体调制装置”的专利，公开号 CN119890022A，申请日期为 2024 年 10 月。
专利摘要显示，公开了一种用于衬底处理系统的等离子体调制装置。该装置包括：连接到 N 个不同网格的多个射频(RF)路径，其中衬底处理系统的基座被分成 N 个不同网格，N 是等于或大于 2 的整数，其中，每个 RF 路径包括：RF 杆，其连接到网格，并配置为从网格传输 RF 信号；电压‑电流(VI)传感器，其连接到 RF 杆并配置为测量来自 RF 杆的电流；以及可变阻抗电路，其连接到 VI 传感器，并配置为改变 RF 路径的阻抗，还配置为接地，其中，每个 RF 路径被单独接地，并且每个 RF 路径分别对应于不同网格。
本文源自：金融界
作者：情报员
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