金融界2025年5月1日消息,国家知识产权局信息显示,安徽万维克林精密装备有限公司申请一项名为“一种晶圆清洗装置和晶圆加工设备”的专利,公开号 CN119890086A,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆清洗装置和晶圆加工设备,具体涉及晶圆加工技术领域,包括基座,所述基座的顶端一侧固定安装有第一架体,所述第一架体的顶部固定安装有定旋机构,所述基座的顶端另一侧固定安装有第一运输机构,所述定旋机构和第一运输机构之间设有转运机构,所述基座顶端靠近定旋机构的一侧固定安装有清洗机构,所述转运机构位置处的基座顶端固定安装有第二运输机构,本发明,通过设置定旋机构,能够对晶圆进行轮式定位,从而可控制晶圆进行转动,配合使用清洗机构,对晶圆的上下表面进行同步自动清洗,从而提升了晶圆的清洗效率。
天眼查资料显示,安徽万维克林精密装备有限公司,成立于2020年,位于合肥市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1456万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽万维克林精密装备有限公司参与招投标项目7次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息54条,此外企业还拥有行政许可4个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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