江苏
今天是五一劳动节
近日
庆祝中华全国总工会成立100周年
暨全国劳动模范和先进工作者表彰大会
在人民大会堂举行
来自苏州工业园区
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所的
张晓东
被授予全国先进工作者称号
左4为张晓东
张晓东
全国先进工作者
张晓东，博士研究生学历，现任中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所正高级工程师，获得全国五一劳动奖章、中国科学院技术支撑人才、江苏省五一劳动奖章、苏州市五一劳动奖章、苏州“创新创业”好青年、苏州技能大奖等荣誉称号。
2009年，刚刚研究生毕业的张晓东加入苏州纳米所纳米加工平台工作，从最基层半导体工艺员干起，开启了科研之路。
十六年来，张晓东始终坚守一线，不仅负责平台E-beam、CMP、Sputter、ICP等系列设备日常运营及管理，还积极开展工艺开发与积累，标准化工艺制定与推广，技术培训与人才培养等工作，练就了扎实过硬的科研本领。
根据科研和产业发展需求
张晓东带领团队建成了国内首条
开放性八英寸氮化镓Micro-LED工艺线
加速了Micro-LED显示芯片
国产化的进程
目前，纳米加工平台已建成拥有超净实验室10000平方米，包括各类半导体加工设备300余台套，支持硅MEMS、宽禁带半导体氮化镓、碳化硅、氧化镓以及生物芯片等领域的创新研发，平台每年支撑数百家高校、科研院所和企业进行科学研究、技术开发和人才培训等，推动相关产业增加产值数十亿元，是国内最具特色的纳米技术公共服务平台，已成为苏州纳米所在半导体微纳加工领域的靓丽名片。
张晓东从国家对半导体核心基础元器件需求出发，潜心开展氮化镓、氧化镓等宽禁带材料与器件研究，开发出具有自主知识产权的增强型氮化镓高电子迁移率晶体管技术，通过贴片式封装技术进一步降低了寄生参数，使开关频率达到MHz级，实现了器件的高频化和小型化，为其在轻量化、高速电子等领域的应用奠定了基础。
针对AR/VR等新型信息显示系统对显示芯片的实际需求，张晓东团队攻克了高亮度Micro-LED微显示芯片的多项技术难点，研制了具有高亮度、高发光效率与优异色彩表现的超高分辨率Micro-LED微显示芯片，加速了Micro-LED显示核心器件的研发及产业化。
面向国家重大任务支撑保障的需求，张晓东参与超导转变边沿探测器的版图工艺设计和器件制备等工作，进行了低温超导探测芯片等器件的关键工艺开发，并制备出相关原理样机，攻克了关键半导体元器件“卡脖子”技术。
在全力做好科研支撑工作的同时
张晓东还积极投身
纳米技术人才培养事业
2011年，苏州工业园区纳米技术人才公共实训基地在纳米加工平台揭牌成立。张晓东主动参与讲授了Micro-LED技术与微显示芯片、超宽禁带半导体材料与器件等纳米技术产业高技能人才培训、中国科学院精品课程培训，以及纳米加工平台微纳加工技术培训课程。实训基地每年培训约1500人次，为社会培训了一大批急需的纳米技术高技能人才。
张晓东指导的学生先后获得“华为杯”第四届中国研究生创“芯”大赛全国总决赛三等奖两项、第八届中国国际“互联网+”大学生创新创业大赛中荣获了全国总决赛银奖等一系列荣誉，为行业头部企业输送一批高技能人才。
来源：园区融媒体中心 园区总工会
拟稿：余扬 张健
审核：陈致理
审签：黄爱萍
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