高端化学品及集成电路用电子化学品制造关键技术通过鉴定

来源：中国化工报

中化新网讯4月15日，北京化工大学等多家单位完成的“高端化学品及集成电路用电子化学品制造关键技术研究与应用”项目，在北京通过了中国石油和化学工业联合会(简称“中国石化联”)组织的科技成果鉴定。记者了解到，北京化工大学教授李群生带领团队针对国家战略需求，研发了高端化学品及集成电路用电子化学品制造关键技术，并成功实现产业化应用，成为科技创新和产业创新深度融合的典型案例。

此次鉴定会上，由舒兴田、屠海令(线上)、钱旭红(线上)、郑裕国(线上)、冯志海等5位中国工程院院士，以及中石油云南石化有限公司教授级高工张有林、中国中化控股有限公司教授级高工晋工、中国石化集团公司科技部首席科学家庄毅、清华大学教授吕阳成、北京化工研究院首席专家李东风、中国石油大学(北京)教授陈光进等共11位专家组成的鉴定委员会一致认为，该成果核心技术处于国际领先水平，同意通过鉴定，建议进一步推广应用。北京化工大学副校长任钟旗、中国石化联科技与装备部主任李永亮出席本次鉴定会并讲话，鉴定会由中国石化联科技与装备部副处长曾春阳主持。

据介绍，该项目在多个领域取得了一系列重大创新成果。根据鉴定意见，该项目建立了精馏塔内气液两相流的数学模型，研发了IP型高效填料和导向复合塔板，填料分离效率提高了37.5%～50%，塔板分离效率达到75%～85%；发明了反应除杂技术，利用紫外线光源将四氯化硅中极少量的三氯氢硅反应为四氯化硅，产品纯度达到99.9999999%(9N级)；开发了等离子反应合成技术，实现乙硅烷的定向合成，得到99.99999%(7N级)乙硅烷。

同时，该项目发明了精馏—连续多级逆流分布结晶技术，应用于对二氯苯-邻二氯苯等分离，产品纯度≥99.999%；开发了优化结构的双载体吸附系统，与精馏及其他分离技术耦合，实现对杂质的深度脱除，生产出99.999999%(8N级)四氯硅烷；开发了高效抗杂质渗入技术，实现了电子化学品生产设备的超洁净防护。其中，电子级氢氟酸单个金属离子杂质含量降至5ppt以下，突破G5标准要求。

据悉，李群生团队目前已取得获授权的多项国内外发明专利，具有自主知识产权。

该项目不仅在科技创新方面屡获突破，在产业化应用领域也收获累累硕果。项目成果已在多家企业获得广泛应用，并生产出百余种产品，取得了显著的经济效益、社会效益和环境效益。

据统计，近3年该项目技术应用累计节约蒸汽116万吨、电耗47763万千瓦时，节能折合标煤20.8万吨，相当于减排二氧化碳51.8万吨。“这是因为项目技术可以显著降低化工分离过程的能源消耗与环境负荷。”李群生说，内蒙古双欣高端醋酸乙烯生产应用该项目技术后，影响环境污染的醋酸甲酯等物质含量从0.04%～0.06%降低至150ppm以下，优于国际技术指标，同时回收大量醋酸甲酯，减轻了大气污染。

谈及未来，李群生表示，项目团队将进一步深化智能化与绿色化创新，实现精馏过程动态优化与能量梯级利用；探索精馏耦合、生物基化学品分离等前沿领域，助力实现碳中和目标；深化稀土同位素、超高纯材料制备技术，支撑航空航天、半导体等战略产业发展。未来5年，项目技术应用将新增产值超400亿元，带动就业岗位1万个，助力我国高端化学品自给率提升。

李群生同时表示，项目还将通过技术标准国际化与高质量共建“一带一路”合作，推动中国方案在全球化工行业应用。“项目成果可通过技术许可、工程总包等方式向国外输出。”他说，预计到2030年，项目技术出口将形成超10亿元的年服务收入规模，推动我国化工技术标准成为国际标杆。（李东周 杨扬）