北京
金融界2025年4月24日消息，国家知识产权局信息显示，睿励科学仪器（上海）有限公司申请一项名为“照明装置、暗场检测系统及方法”的专利，公开号CN119804484A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明提供一种照明装置、暗场检测系统及方法，包括：基于宽视场的成像装置对待测晶圆表面的亮缺陷和暗缺陷分布位置进行预检测，得到待测晶圆的缺陷分布图谱；对缺陷分布图谱中各缺陷的亮暗程度进行分类，并得到待测晶圆各位置对应的光源亮暗等级分布；在暗场检测装置中，基于线照明光为待测晶圆的待测区域提供光源，扫描待测晶圆上的各待测区域，并根据与对应的光源亮暗等级调控探测光信号的强弱，采集调整后的探测光信号，以实现暗场检测。本发明在暗场检测时不同像素位置检测灵敏度一致性好、光源强度利用率高、图像采集动态范围大。
天眼查资料显示，睿励科学仪器（上海）有限公司，成立于2005年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本84071.5708万人民币。通过天眼查大数据分析，睿励科学仪器（上海）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目28次，财产线索方面有商标信息23条，专利信息246条，此外企业还拥有行政许可20个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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