金融界2025年4月21日消息,国家知识产权局信息显示,上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司取得一项名为“一种喷射管路清洁装置及干燥管路系统”的专利,授权公告号CN222766880U,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种喷射管路清洁装置及干燥管路系统,包括:连接喷射管路的清洁单元,所述喷射管路用于将通入的干燥液通过喷射口向干燥单元内部喷射进行干燥处理工艺;所述清洁单元用于在停止向所述喷射管路通入所述干燥液时,向所述喷射管路通入冲洗液,对所述喷射管路和所述喷射口进行清洗,并在停止通入所述冲洗液后,向所述喷射管路通入吹扫气体,对所述喷射管路和所述喷射口进行清洗后的吹干。本实用新型能实现对喷射管路内壁上及喷射口中积聚的附着物进行在线自动清洁,保证了工艺质量和可靠性,并节约了维护时间,同时避免了以往因拆卸而可能造成的二次污染。
天眼查资料显示,上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司,成立于2020年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1150000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司参与招投标项目65次,财产线索方面有商标信息14条,专利信息444条,此外企业还拥有行政许可211个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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