晶瑞电子申请平板显示用ITO及IGZO蚀刻液专利，蚀刻液具有选择性高、可控性好、表面质量好的优势

金融界2025年4月21日消息，国家知识产权局信息显示，晶瑞电子材料股份有限公司;晶瑞（湖北）微电子材料有限公司;江苏阳恒化工有限公司申请一项名为“16014.一种平板显示用ITO及IGZO蚀刻液及其制备方法”的专利，公开号CN119842403A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本发明提供了一种平板显示用ITO及IGZO蚀刻液，包含重量份数计的如下各组分：40‑60份混合酸、4‑6份磷酸盐、0.3‑0.6份缓冲剂、1‑3份螯合剂、2‑5份表面活性剂、1‑3份抑制剂和35‑45份水；所述混合酸中无机酸和有机酸的质量比为1：3‑5；本发明制备得到的蚀刻液具有选择性高、可控性好、表面质量好的优势，可以应用于平板显示用ITO及IGZO中；蚀刻液的蚀刻速率：18‑20Å/秒，单边CDloss≤0.8um，容纳（In，Sn）≤3000ppm。

天眼查资料显示，晶瑞电子材料股份有限公司，成立于2001年，位于苏州市，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本105953.6383万人民币。通过天眼查大数据分析，晶瑞电子材料股份有限公司共对外投资了14家企业，参与招投标项目25次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息84条，此外企业还拥有行政许可28个。

晶瑞（湖北）微电子材料有限公司，成立于2019年，位于武汉市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本58565.4009万人民币。通过天眼查大数据分析，晶瑞（湖北）微电子材料有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目9次，专利信息16条，此外企业还拥有行政许可89个。

江苏阳恒化工有限公司，成立于2001年，位于南通市，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本11956.9608万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏阳恒化工有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目12次，专利信息27条，此外企业还拥有行政许可27个。

本文源自：金融界

作者：情报员