北京
金融界2025年4月10日消息，国家知识产权局信息显示，广东凯迪微智能装备有限公司申请一项名为“一种智能化晶圆刻蚀工艺”的专利，公开号CN 119786396 A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明涉及信息技术领域的一种智能化晶圆刻蚀工艺，包括：获取不同材料在各种药液配方下的刻蚀速率，构建覆盖多种材料体系的刻蚀速率数据库，通过比较数据库中的刻蚀速率差异，筛选出刻蚀选择性高的材料组合，确定针对性的药液配方优化方向；在刻蚀设备中安装多参数在线监测单元，采用光纤光谱仪实时测量药液浓度，采用热电偶和PH电极实时测量药液温度和酸碱度，当监测参数超出设定范围，启动药液配比调节程序，通过控制进液量和排液量，实现药液性质的动态调控，确保刻蚀工艺的稳定性和一致性。
天眼查资料显示，广东凯迪微智能装备有限公司，成立于2018年，位于东莞市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1108万人民币，实缴资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，广东凯迪微智能装备有限公司参与招投标项目5次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息81条，此外企业还拥有行政许可10个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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