北京
金融界2025年4月7日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“晶圆夹持装置、搬运装置、加工设备、夹持和释放方法”的专利，公开号CN 119764247 A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明提出了一种晶圆夹持装置、搬运装置、加工设备、夹持和释放方法。所述晶圆夹持装置包括：夹爪组件，至少两组夹爪组件在不同圆周位置处夹持和释放晶圆，所述夹爪组件配置成在夹持晶圆时承托晶圆的底部并与晶圆的侧面具有间隙；以及导向机构，至少两组导向机构配置成在夹爪组件夹持晶圆时在不同圆周位置处抵住晶圆的侧面以对晶圆径向限位。本发明的晶圆夹持装置通过夹爪组件承托晶圆的底部，通过导向机构抵住晶圆的侧面对晶圆径向限位，有效解决了现有晶圆夹持装置对对晶圆施加径向夹持力导致晶圆容易崩边的问题。
天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本23672.4893万人民币，实缴资本6000万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目218次，财产线索方面有商标信息64条，专利信息657条，此外企业还拥有行政许可30个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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