北京
金融界2025年4月7日消息，国家知识产权局信息显示，广东中图半导体科技股份有限公司取得一项名为“刻蚀设备用夹具及刻蚀设备”的专利，授权公告号CN 222720341 U，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本实用新型属于半导体技术领域，公开了刻蚀设备用夹具及刻蚀设备。刻蚀设备用的夹具包括托盘、密封圈以及盖板。托盘具有用于承载晶圆的承载区域和环设于承载区域外围的保护区域，保护区域的宽度为d1，d1≥2mm，在承载区域边缘处环设有密封槽；密封圈设置于密封槽内且部分凸出密封槽，晶圆承托于密封圈且晶圆的边缘位于保护区域内；盖板盖设于托盘的保护区外围且部分抵压于晶圆顶壁。以此该夹具在使用时，不用改变托盘的制造工艺，也不会增加制造成本，就可以使得托盘在长时间使用过程中托盘边缘被腐蚀内凹时，内凹的幅度仅局限在保护区域内，而不会造成密封槽变形，有效降低了密封圈错位而失去密封作用的可能性，从而延长了托盘的使用寿命。
天眼查资料显示，广东中图半导体科技股份有限公司，成立于2013年，位于东莞市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本42601.8559万人民币，实缴资本41227.6万人民币。通过天眼查大数据分析，广东中图半导体科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息126条，此外企业还拥有行政许可97个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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