北京
金融界2025年4月3日消息，国家知识产权局信息显示，合肥领航微系统集成有限公司取得一项名为“种干法刻蚀设备”的专利，授权公告号CN 222705441 U，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种干法刻蚀设备，涉及芯片生产技术领域，包括封闭的反应腔和气源，气源的输出口与反应腔连通，反应腔内安装有调速板，调速板上开设有多组出气孔，出气孔上对应安装有用于调节出气孔出气时间的调速装置；调速装置包括开关门，开关门通过涡卷弹簧安装在调速板上，开关门另一侧的调速板还安装有电磁线圈，开关门靠近电磁线圈一端安装有磁铁。本装置在气体电离前进行净化去除杂质，提高电离质量；通过填料塔的设置，使得反应腔内的气体更均匀，提供刻蚀均匀性；设置调速板和调速装置，使得不同位置处的气体可以控制，达到更好的刻蚀效果。
天眼查资料显示，合肥领航微系统集成有限公司，成立于2022年，位于合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本754.299万人民币，实缴资本504.3万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥领航微系统集成有限公司参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息85条，此外企业还拥有行政许可4个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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