北京
金融界2025年4月2日消息，国家知识产权局信息显示，北京晶亦精微科技股份有限公司申请一项名为“保压老化测试系统以及测试方法”的专利，公开号 CN 119742243 A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本发明涉及晶圆干燥技术领域，公开保压老化测试系统以及测试方法。系统包括干燥腔室、设于干燥腔室外具有第一检测空间的第一密封结构、第一气源、气体检漏组件、第二气源、第三气源以及加热结构、第一温度检测结构、第一压力检测结构和第二压力检测结构；第一气源与干燥腔室及第一密封结构相连接，以通入第一测试气体；气体检漏组件检测干燥腔室和/或第一检测空间内的目标气体含量；第二气源和第三气源与干燥腔室相连接，向干燥腔室通入第二测试气体或第三测试气体，并在干燥腔室内壁面形成致密保护层。保压老化测试系统能够完成对超临界流体干燥腔室的气密性测试、保压测试和老化工艺处理，保证无金属析出和设备安全性，提高干燥工艺的洁净度。
天眼查资料显示，北京晶亦精微科技股份有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本16646.135万人民币，实缴资本16646.135万人民币。通过天眼查大数据分析，北京晶亦精微科技股份有限公司参与招投标项目51次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息362条，此外企业还拥有行政许可8个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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