金融界 2025 年 4 月 1 日消息,国家知识产权局信息显示,无锡宇钛半导体设备有限公司申请一项名为“一种真空蒸发镀膜设备”的专利,公开号 CN 119736584 A,申请日期为 2024 年 12 月。
专利摘要显示,本发明涉及一种真空蒸发镀膜设备,属于电子束蒸发镀膜设备领域,包括箱体,所述箱体内设置有真空室,所述真空室内设置有坩埚和行星机构,所述真空室包括上腔体和下腔体,所述上腔体和下腔体上下分布,所述上腔体和下腔体的连接处设置有插板阀,通过插板阀控制上腔体和下腔体的连通和断开;所述上腔体的一侧设置有真空口,所述真空口上连接第一真空系统,通过第一真空系统实现上腔体抽真空,所述下腔体上连接第二真空系统,本发明通过抽拉式的行星盘,便于产生的取出和放入,提高了操作的便捷性;盖体开启过程中,通过先转动后平移,且转动后的盖体与关闭状态时的盖体平行,减小了整体的体积,即减小了盖体的占用空间。
天眼查资料显示,无锡宇钛半导体设备有限公司,成立于2024年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡宇钛半导体设备有限公司专利信息1条,此外企业还拥有行政许可5个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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