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金融界2025年3月31日消息，国家知识产权局信息显示，常州英诺激光科技有限公司取得一项名为“晶圆载具”的专利，授权公告号CN 222690657 U，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本实用新型属于晶圆加工技术领域，具体涉及一种晶圆载具。该晶圆载具的承载盘的上表面由圆心向外周依次设置有中央负压区、第一外围负压区和第二外围负压区，中央负压区可以对晶圆的中央部分进行吸附，当承载的晶圆直径较大时，第一外围负压区和第二外围负压区可以分别吸附不同尺寸的晶圆的外边缘部分，可以稳固吸附不同尺寸的晶圆。换言之，本实施例的晶圆载具可以稳定吸附不同尺寸的晶圆，可以根据不同尺寸的晶圆有选择的选用需要的负压区。
天眼查资料显示，常州英诺激光科技有限公司，成立于2011年，位于常州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本21000万人民币，实缴资本21000万人民币。通过天眼查大数据分析，常州英诺激光科技有限公司参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息229条，此外企业还拥有行政许可8个。
本文源自金融界
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