中国芯片刻蚀机之父，永远38岁！

在中微公司，开车的司机、看门的招待员都有股票。

文 | 华商韬略 江上之

2024年8月2日，中微公司成立20周年。

董事长兼总经理尹志尧说：“我有一个美好的憧憬，并且有充分的信心，20年后，当我们庆祝中微40周年时，我们一定再相聚。”

这一年，尹志尧80岁。

20年前刚回国创业时，尹志尧60岁。出租车司机对他说：“您看起来只有38岁！”

尹志尧一听，爽朗地笑道：“太好了，以后我就是38岁的人。”

【国际先进】

突破卡脖子，打造“国之重器”是条艰难的道路，过去的20年，尹志尧走的就是这条路。

半导体是中国最薄弱但最重要的产业之一，半导体关键设备则是半导体发展的基础。半导体设备最关键的三种分别是：光刻机、刻蚀机、薄膜机。

尹志尧所创办的中微公司，目前已是全球排名第四的刻蚀机企业，可全面自主支持中国在这一领域的需求与发展。

在尹志尧的比喻里，芯片微观加工就像是剪窗花，薄膜机铺一层材料红纸，光刻机在红纸上画好花纹，刻蚀机把不要的部分刻掉。

如今，中微公司的刻蚀设备技术能力已达到5纳米以及更先进工艺水平，可以全面取代国际先进设备。

5纳米的加工能力相当于在人头发丝直径万分之一的尺度上，修建50-60层楼房。

不仅如此，凭借行业首创的刻蚀设备双台机技术，中微公司率先提出“皮米级”加工精度概念，其刻蚀精度已经达到100“皮米”以下水平，相当于人的头发丝350万分之一的精准度。

当前，中微公司的刻蚀机已被一线半导体制造商广泛采用，涵盖了65纳米、14纳米、7纳米及5纳米等制程，主要客户包括台积电、SK海力士、联电、中芯国际和长江存储等。

从能力上看，中微公司基本和国外设备公司处在同一水平，且可以提供双台机和单台机两种选择，而国际几大设备厂商只有单台机，这是中微公司独特的亮点所在。

尹志尧说：“在国内外竞争越来越激烈的情况下，我们没有别的选择，一定要有自主可控、自立自强的精神，使我们国产设备尽快达到国际先进水平，甚至在部分领域超过国际先进水平。”而今天全球一流的芯片生产线上，已有600多个反应台用的全是中微的双台机。

与之对应，自2021年起，在全球刻蚀设备市场，中微公司的市场份额位居第四位，前三名分别是LAM（泛林集团，又称科林研发）、TEL（东京电子）、AMAT（应用材料）三家国际大厂。

这意味着，无论技术水平，还是规模实力，中微公司都已达到国际先进水平。

【最强大脑】

实际上，尹志尧与三家刻蚀机国际大厂中的两家LAM、AMAT都有很深的渊源。

1944年，尹志尧出生于北京，中学就读于久负盛名的北京四中，之后考入中国科技大学化学物理系，毕业后在兰州炼油厂和中科院系统工作了近十年。

1978年，尹志尧考入北京大学化学系，攻读硕士。他还记得，当时国内最先进的计算机，内存只有128K，却占了两栋大楼，里面装着数不清的电子管。

1980年，36岁的尹志尧成为北京大学第二个自费出国留学生。

1984年，已获得加州大学洛杉矶分校物理化学博士学位的尹志尧，进入硅谷，在英特尔中心研究开发部研发芯片，成为第一个进入英特尔的中国留学生。

当时英特尔已经把128K的容量做到一个指甲盖大小的芯片上了。

但尹志尧很快开始对设备更感兴趣，他认为，没有微观加工设备，就造不出芯片，也就不会诞生那么多伟大的公司。

在一次英特尔对LAM的刻蚀设备采购评估中，尹志尧参与了评价，并且给出了否定意见。当LAM果真失去英特尔的订单，并了解到尹志尧就是那个对其批评最多和建议最多的人，他们却非但没有对尹志尧生气，而是决定把尹志尧挖过去，助力研发刻蚀设备。

此时的LAM已处在崩溃的边缘，跳槽面临着巨大的风险。

反复权衡考虑后，尹志尧还是决定去冒这个险，因为他已经想出怎么把刻蚀设备做好的办法。

1986年-1991年，尹志尧在LAM历任研发部资深工程师、研发部资深经理。5年间，尹志尧开发了彩虹号电容性介质等离子体刻蚀机，也开始了电感性等离子体源ICP技术的开发。

尹志尧的加盟，帮助LAM击败了AMAT，成为国际最强刻蚀机公司，市场占有率超过40%。

这让AMAT也盯上了尹志尧，并最终将他请了过去。

1991年-2004年，尹志尧在AMAT历任等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁及等离子体刻蚀事业群总经理、亚洲总部首席技术官。

在这期间，他帮助AMAT研发成功了几种刻蚀机，AMAT的刻蚀机业务也做到世界最大，国际市场份额超40%。

到2004年，尹志尧已在硅谷从事半导体行业20年，参与并领导了国际几代等离子体刻蚀机的研发，在半导体行业拥有了86项美国专利和200多项各国专利，也成为了国际等离子体刻蚀技术发展和产业化的重要推动者，以及微观设备领域的“最强大脑”之一。

由此，尹志尧也被誉为“硅谷最有成就的华人之一”。

【贡献祖国和人民】

2004年，已在硅谷功成名就，且已60岁的尹志尧，带着一批资深的行业专家落户上海浦东，创办了中微公司。

从此，他开始和中国芯片产业的命运紧密相依。

唤醒尹志尧内心深处报国情怀的人是江上舟。

一个国际半导体设备展上，尹志尧偶遇了北京四中的校友，时任上海经委副主任江上舟。

江上舟是公认的“战略家”和“实干家”，他较早地意识到半导体芯片是“国之重器”。也正是在江上舟的推动下，张汝京于2000年在上海创立了中芯国际。

江上舟在看了美国AMAT的刻蚀设备后，问尹志尧：“看来刻蚀机比原子弹还复杂，外国人用它来卡我们的脖子，我们能不能自己把它造出来？”

看到尹志尧有些犹豫，江上舟又说：“我是个癌症病人，只剩下半条命，哪怕豁出命去也要为国家造出刻蚀机。我们一起干吧！”

尹志尧作为中国人的血脉觉醒了。

“我是一个中国人，在中国得到了很好的教育，在红旗下长大的，这个‘根’是去不掉的。”尹志尧清楚，虽然在美国发展得很好，但美国毕竟不是自己的国家。

他说：“我给美国也做了相当多的贡献了，已经够了。但是我缺的一点就是，我没有回报我的国家。”

尹志尧的祖父尹寿松、父亲尹怀莘，都曾在赴日留学后选择回国，为国家建设和民族工商业发展做出了贡献。

“给外国人做了这么多年嫁衣，是时候给祖国和人民做点贡献了。”尹志尧由此下定决心，延续家族前辈的精神，回国报效。

【“打铁还得自身硬”】

尹志尧和他的团队回国了，但和老东家的纠葛还在。

2007年6月，中微公司首台CCP刻蚀设备产品研制成功，并运往国内客户。

2007年10月，AMAT在美国法院以商业秘密侵权为由起诉中微及尹志尧等人。

AMAT认为，一定是从AMAT来到中微的人盗用了该公司的技术，毕竟他们熟悉AMAT的技术。

作为对策，中微公司聘用了美国一流的律师，用两年半的时间和2500万美元的律师费，彻查了600万件内部文件，证明了自己的清白，最终和AMAT和解。

与AMAT的官司未了，尹志尧的前前东家LAM也来“凑热闹”。

2009年1月，LAM在中国台湾起诉中微公司侵权。时机选得也很巧，就在中微公司设备刚要进驻中国台湾某大厂之前。

2009年9月，中国台湾智慧财产法院认为LAM主张的专利权不具有新颖性、进步性，驳回LAM诉讼请求。其后LAM虽然两次提起上诉，但都被驳回。

来而不往非礼也。

2009年2月，中微公司向中国台湾智慧财产局提出举发，主张LAM两件涉诉专利无效，最终得到支持。

2010年12月，中微公司在上海起诉LAM侵犯公司商业秘密。2023年6月，法院终审判决，命令LAM销毁其非法获取的与中微公司等离子刻蚀机有关的一份技术文件和两张照片。

值得一提的是，LAW的创始人也是华人，中文名林杰屏。

当以前的合作者成为今天的对手，尹志尧觉得很正常，毕竟在商言商。

与此同时，尹志尧强调的是，只要重视知识产权、商业机密，既遵守我国的法律，也遵守美国的法律，就能立于不败之地。

“这些较量再一次说明了，‘打铁还得自身硬’。”尹志尧说，当你从跟跑者变成领跑者，就不怕别人说抄袭了。

因为中微，美国对中国的卡脖子也得到突破。2015年，当中微公司开发的国产等离子体刻蚀设备达到世界先进水平，美国商务部立即就解除了这类设备持续几十年的出口管制。

不过凡事都有两面性，越来越硬的中微公司也被美国政府盯得越来越紧了。

2017年1月，美国总统科技专家委员会（PCAST）发布的国情咨文“确保美国在半导体产业的长期领导地位”报告中，分析中国集成电路的芯片设计、制造、设备、材料和封装产业，在32页的报告里唯一提到的中国公司就是中微公司。

2021年1月，美国国防部无端地把中微公司列入军事企业清单。经过中微公司四个多月的据理力争，美国国防部在2021年6月将中微公司从清单上移除。

但是，在2024年1月，美国国防部再次无理由地把中微公司列入在美国有运营的军事企业清单。

在向美国国防部严正交涉、提交有力申述无效的情况下，中微公司于2024年8月在美国正式起诉美国国防部。

经过四个月的诉讼和进一步的据理力争，美国国防部于2024年12月正式将中微公司从清单移除。

尹志尧表示，此次成功地从清单移除，充分彰显了中微公司维护自身合法权益的决心和能力。

中微公司官网则称：“在过去的十七年里，中微公司在和美国设备公司及美国政府的五次法律诉讼中，四次取得胜利，两次成功和解。这说明在商业和政府关系上，只要我们奉公守法，摆事实讲道理，据理力争，斗智斗勇，我们就会立于不败之地。”

【“中微特色社会主义”】

除了要做好半导体设备，打造一个全员持股的公司也是尹志尧的志向。

虽然是公司的创始人，但尹志尧在中微公司的持股比例只有0.7%。

尹志尧从小到大都是学生领袖，做了20多年，曾任少先队大队委员会主席、共青团委委员。

“一直受到社会主义教育。所以我梦想就是当我有机会搞一个团体的时候，一定要是共同劳动，共同享受。这是基因，没有办法改变的。”尹志尧说，这是他一辈子追求的愿望。

在中微公司，开车的司机、看门的招待员都有股票。

2020年，中微公司上市一年，市值达到1000亿元。此时，公司750人里有375人，也就是整整一半的人是1000万到1亿的身价；有50人是1亿到10亿的身价；还有325人，包括刚刚从学校毕业入职中微两三年的，也有100万到1000万的身价。

尹志尧认为，真正的社会主义制度是有钱出钱，有力出力。资本是一种投资，劳动和智力也是一种投资，都应该产生价值的。

所以，公司在价值生长过程中，可以拿出一部分，变成股权、期权，分给这些创造价值的人。

在中微公司，每一个级别的股权差20%，每一个级别的工资差10%。这是一个非常扁平的分配体系，带有非常平均的社会主义色彩，尹志尧称之为“中微特色社会主义”。

在尹志尧看来，全员持股的奇妙之处，是把员工和管理层的长远利益，和公司的发展绑定，激发团队活力，保证核心技术团队的稳定性和持续性。

作为全球半导体设备领域的塔尖人物，尹志尧从来都不是一个个人英雄主义者。

他强调，集成电路需要千百万人集成的努力，这个产业不是哪一个英雄可以创造出来的，而是千千万万的工程师和工人一起合作才能做起来的。

至于自己，他说：

“我没什么能耐，现在不会搞别的，就一直咬牙坚持做下去，就会做到世界最好。”

【参考资料】

[1]《创业——生命的活力——尹志尧》第一财经

[2]《专访中微公司创始人、董事长尹志尧：花甲再创业，只为不再“芯”痛》上财商学评论

[3]《尹志尧：我是和摩尔吃过晚饭的人》科工力量

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