金融界2025年2月3日消息,国家知识产权局信息显示,艾媛永旭半导体(江苏)有限公司取得一项名为“一种具有氮气流量监测功能的半导体晶圆搬运机器人”的专利,授权公告号CN 222421921 U,申请日期为2024年3月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种具有氮气流量监测功能的半导体晶圆搬运机器人,涉及机器人技术领域,包括半导体晶圆搬运机器人本体、防护壳、出气口、氮气传感器、氮气罐,叉臂以及开合组件,所述氮气传感器用于检测晶圆盒氮气浓度,所述氮气罐用于储存氮气,所述开合组件用于控制出气口的开合,所述开合组件包括设置在出气口内部的液压杆,所述液压杆的伸缩端连接有第一齿条,所述防护壳的内壁连接有转杆。本实用新型中,通过氮气传感器实时监测晶圆盒氮气浓度,当氮气浓度不足时发送电信号至单片机,利用单片机控制液压杆运作,使两个半圆形隔板远离出气口后,即可使氮气从出气口飘向晶圆盒,进而降低了晶圆因氮气不足而氧化的风险。
天眼查资料显示,艾媛永旭半导体(江苏)有限公司,成立于2023年,位于苏州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1000万人民币,实缴资本750万人民币。通过天眼查大数据分析,艾媛永旭半导体(江苏)有限公司专利信息11条,此外企业还拥有行政许可3个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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