北京
金融界2025年1月29日消息，国家知识产权局信息显示，北京中科九微科技有限公司取得一项名为“用于刻蚀设备的压力控制组件及刻蚀设备”的专利，授权公告号CN 222392098 U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种用于刻蚀设备的压力控制组件及刻蚀设备，所述压力控制组件包括阀门，其包括阀体及位于阀体内的阀芯；齿轮组件，其包括与所述阀芯相连的转轴、与所述转轴相连的从动齿轮、以及与所述从动齿轮啮合的主动齿轮，转动源，其与所述主动齿轮连接，并通过齿轮组件驱动所述阀芯在所述阀体中转动并控制所述阀门的开度；编码器，其与所述转轴相连，且用于测量所述阀芯的转动角度。本实用新型提高了对阀门开度控制的精确性，进而提高了对刻蚀设备的压力控制的精确性，提高了刻蚀出的产品的质量和一致性。
天眼查资料显示，北京中科九微科技有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本5000万人民币，实缴资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，北京中科九微科技有限公司参与招投标项目8次，知识产权方面有商标信息2条，专利信息85条，此外企业还拥有行政许可15个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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