金融界2025年1月20日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市汉诺克精密科技有限公司申请一项名为“一种用于晶圆倒角切削的精密空气电主轴”的专利,公开号 CN 119260594 A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明提供一种用于晶圆倒角切削的精密空气电主轴,包括:主轴转子、驱动电机、前气浮轴承、后气浮轴承、冷却水套、后止推轴承、前盖、后盖、外壳套;主轴转子安装在驱动电机中,主轴转子的前端和后端分别套设有前气浮轴承和后气浮轴承,冷却水套套设在前气浮轴承、驱动电机、后气浮轴承的外侧,后止推轴承位于主轴转子飞盘外侧,前盖和后盖分别位于前气浮轴承的前侧和后止推轴承的后侧安装在冷却水套上,外壳套套设在冷却水套的外侧。本发明的精密空气电主轴不仅解决了传统晶圆倒角机存在的精度不足、振动大、磨损快等问题,还提升了整体系统的可靠性和使用寿命,为半导体制造行业提供了一种更高效、更精确的解决方案。
天眼查资料显示,深圳市汉诺克精密科技有限公司,成立于2021年,位于深圳市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本631.57万人民币,实缴资本445.37765万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市汉诺克精密科技有限公司共对外投资了1家企业,知识产权方面有商标信息6条,专利信息30条,此外企业还拥有行政许可6个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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