北京
金融界2025年1月15日消息，国家知识产权局信息显示，广纳四维（广东）光电科技有限公司申请一项名为“一种曝光设备”的专利，公开号CN 119291992 A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本发明公
开了一种曝光设备，
通过设置用于形成至
少两路曝光光束的光
源模块，以及在任一
路曝光光束传输的方
向上，依次设置挡板
和掩膜版，对波导片
具有至少两个待曝光
区域同时进行曝光，沿任一路曝光光束传输的方向上，挡板的
透光区在波导片所在的平面的投影轮廓，覆盖对应待曝光区域
的至少部分区域，掩膜版在波导片所在的平面的投影轮廓，覆
盖对应待曝光区域。由此，同时设置多条曝光路径，能够对波导
片上的多个待曝光区域同时进行曝光，提升了曝光效率。另外，
每个待曝光区域可以对应多个挡板和一个掩膜版，增加了挡板
和掩膜版的利用率，降低了挡板和掩膜版的制备成本。
天眼查资料显示，广纳四维（广东）光电科技有限公司，成立于2021年，位于广州市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本612.9822万人民币。通过天眼查大数据分析，广纳四维（广东）光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目5次，知识产权方面有商标信息4条，专利信息60条，此外企业还拥有行政许可11个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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