金融界2025年1月10日消息,国家知识产权局信息显示,紫旸升光电科技(淄博)有限公司取得一项名为“晶圆载台”的专利,授权公告号CN 222300652 U,申请日期为2024年5月。
专利摘要显示,本实用新型提供一种晶圆载台。该晶圆载台包括:晶圆托盘,用于承载晶圆;托盘升降部件,用于支撑晶圆托盘,托盘升降部件可使晶圆托盘上升或下降;晶圆升降部件,用于接收晶圆,并将晶圆移动至晶圆托盘表面;晶圆固定部件,包括晶圆支撑件和真空吸附模块;晶圆支撑件位于晶圆托盘表面,用于支撑晶圆;真空吸附模块用于在晶圆移动至晶圆托盘表面后,吸附固定晶圆;真空吸附模块中包括多个尺寸各不相同的吸附件,多个尺寸各不相同的吸附件设置在晶圆托盘的表面,多个宽度各不相同的吸附件用于吸附不同尺寸的晶圆。
天眼查资料显示,紫旸升光电科技(淄博)有限公司,成立于2020年,位于淄博市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本3000万人民币,实缴资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析,紫旸升光电科技(淄博)有限公司参与招投标项目5次,专利信息7条,此外企业还拥有行政许可13个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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