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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆夹持装置和晶圆后处理设备”，专利申请号为CN202111286974.7，授权日为2025年1月7日。
专利摘要：本发明公开了一种晶圆夹持装置和晶圆后处理设备，其中晶圆夹持装置包括用于卡紧晶圆的卡爪、与卡爪连接的升降组件和驱动机构；升降组件包括顶升机构和开合机构，顶升机构用于支撑晶圆，开合机构用于控制卡爪夹紧或松开晶圆；驱动机构使升降组件下降时，顶升机构托着晶圆下降同时开合机构使卡爪夹紧晶圆的周缘部；驱动机构使升降组件上升时，顶升机构托着晶圆上升同时开合机构使卡爪松开晶圆的周缘部。晶圆后处理设备包括晶圆夹持装置、转盘、用于输送流体的供给单元和设置在转盘周围的挡圈。
今年以来华海清科新获得专利授权3个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。
数据来源：天眼查APP
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