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金融界2024年12月28日消息，国家知识产权局信息显示，兴华芯（绍兴）半导体科技有限公司取得一项名为“一种用于量测光掩模图形的载台及载具组件”的专利，授权公告号CN 222213194 U，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本实用新型涉及一种用于量测光掩模图形的载台及载具组件，所述载台构造有用于支撑载具的支撑部、用于调整光掩模方位的定位部以及供量测光通过的中心孔，所述定位部包括构造于载台上表面的定位孔，所述定位孔构造为圆孔，定位孔的侧壁构造有至少两组卡口，各组卡口分别包括四个适配载具中四个拐角的卡口，各卡口分别沿定位孔的圆周方向分布，中心孔与定位孔相连通，且中心孔贯穿载台的下表面；本载台应用于光掩模图形的线宽量测过程，可以方便、快速、精确的调节光掩模的方位，不仅有利于更精确的量测线宽，而且有利于确保量测结果一致。
本文源自：金融界
作者：情报员
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