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金融界2024年12月26日消息，国家知识产权局信息显示，国科天骥（山东）新材料有限责任公司申请一项名为“一种含自交联树脂的电子束光刻胶组合物及其制备方法和应用”的专利，公开号CN 119179230 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明提供一种含交联树脂的电子束光刻胶组合物及其制备方法与应用。本发明的电子束光刻胶组合物包括两种不同体系树脂的共混物，其在电子束光刻胶基底树脂基础上掺杂了一种自交联树脂材料，在不影响后期电子束光刻基本工艺的条件下改善了线条易倒塌的问题。
本文源自：金融界
作者：情报员
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