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金融界12月23日消息，有投资者在互动平台向奥普光电提问：请问老师，超高分辨率汤姆逊散射光谱仪是用于Euv光刻机的，公司正在研发中；请问目前公司最高端的光谱仪能用于DUV光刻机吗？
公司回答表示：超高分辨率激光汤姆逊散射光谱仪为国家重点研发计划项目，目标是研制出原理样机及工程样机，研发周期从2023年12月至2026年11月，目前尚未形成产品。
本文源自：金融界
作者：公告君
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