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金融界2024年12月9日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“冷却装置和半导体工艺设备”的专利，公开号CN 119085245 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明公开一种冷却装置和半导体工艺设备，所公开的冷却装置包括冷却本体，所述冷却本体包括第一桶体和第二桶体，所述第二桶体套设于所述第一桶体外侧，所述第二桶体与所述第一桶体围成容置腔，所述第二桶体开设有与所述容置腔连通的进液口和出液口；所述冷却装置还包括多个分流柱，所述分流柱间隔地设于所述容置腔内，所述第二桶体通过所述分流柱与所述第一桶体连接。上述方案可以解决相关技术中通过炉桶对炉管外部区域进行冷却时容易存在炉桶局部过热的问题。
本文源自：金融界
作者：情报员
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