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金融界2024年12月7日消息，国家知识产权局信息显示，宁波合盛新材料有限公司取得一项名为“一种晶圆晶向检测定位装置”的专利，授权公告号 CN 222106664 U，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本申请公开了一种晶圆晶向检测定位装置，包括：底座部和连接于底座部上的限位部，限位部中部镂空以形成用于放置待测晶圆的安装腔，安装腔的内侧壁与底座部的底面共同对待测晶圆进行限位，底座部在与安装腔相对的区域之内具有用于推出晶圆的通孔，安装腔内壁设有Notch 槽定位部，Notch 槽定位部适于插入待测晶圆的Notch 槽中。本申请的定位装置有利于保护和固定待测晶圆，检测过程中可有效防止晶圆边缘的崩坏，防止晶圆位置偏移，此外，该定位装置还能够支持晶圆旋转，实现多方位测量，从而进一步提高晶圆晶向数值的准确性。
本文源自：金融界
作者：情报员
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