金融界2024年12月4日消息,国家知识产权局信息显示,东莞市晟鼎精密仪器有限公司取得一项名为“种等离子体电感耦合去胶装置”的专利,授权公告号CN 222088519 U,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本实用新型涉及一种等离子体电感耦合去胶装置,包括了进气装置、等离子体生产室、耦合装置、匀气装置、去胶反应室以及抽气装置,所述进气装置、等离子体生产室、去胶反应室以及抽气装置依次连通,所述等离子体生产室的外壁套接有耦合装置,所述匀气装置设置于等离子体生产室和去胶反应室之间,所述匀气装置包括多层多孔隙网板,所述多孔隙网板上分布若干个通孔,每层多孔隙网板之间的通孔分布呈错位设置。
本文源自:金融界
作者:情报员
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