金融界2024年12月2日消息,国家知识产权局信息显示,左蓝微(江苏)电子技术有限公司申请一项名为“用于横向激励膜体声波滤波器的半导体结构的制备方法”的专利,公开号 CN 119051612 A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本发明公开了一种用于横向激励膜体声波滤波器的半导体结构的制备方法,包括:用于提供第一衬底的步骤;用于在所述第一衬底上成型反射空气腔以获得第一半导体结构的步骤;用于提供第二衬底的步骤;用于在所述第二衬底上成型第二半导体结构的步骤;用于将所述第一半导体结构与第二半导体结构键合成第三半导体结构的步骤;其中,在所述第三半导体结构中,所述反射空气腔位于所述第一衬底和第二衬底之间。本申请的制备方法解决了传统工艺加工过程不可控、不适于批量生产以及生产出的半导体结构机械强度不足的问题。
本文源自:金融界
作者:情报员
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