金融界2024年12月2日消息,国家知识产权局信息显示,左蓝微(江苏)电子技术有限公司申请一项名为“一种横向激励膜体声波滤波器及其制备方法”的专利,公开号CN 119051613 A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本发明提供了一种横向激励膜体声波滤波器及其制备方法,其中,本发明的制备方法通过将填充有牺牲材料的空气腔预先制备在晶圆内,解决了现有技术中存在的空气腔腔体不规则,以及形状和尺寸控制不精确的难题,实现了对空气腔的精确定制,满足了不同设计需求;而且采用本申请的制备方法制备的空气腔对衬底带来的机械结构的破坏很小,不会对器件的机械结构强度产生负面影响;其解决了现有技术中存在的制备空气腔时,腔体不规则、空气腔的形状和尺寸控制不精确,生产效率低下且成本高昂,机械结构强度不稳定或者结构复杂的问题。提高了横向激励膜体声波滤波器器件的整体性能和可靠性,为无线通信技术的发展提供了强有力的支持。
本文源自:金融界
作者:情报员
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